主動隔振器的應(yīng)用普及與科學(xué)技術(shù)的發(fā)展是分不開的，高放大倍數(shù)顯微鏡的需求增加，放大倍數(shù)不斷提高，催生了主動隔振器的發(fā)展。

現(xiàn)如今原子力顯微鏡， 掃描電鏡等高倍顯微鏡可以觀測到納米級單位，由于高質(zhì)量成像要求，顯微鏡大多裝有低頻氣浮式減震器，以應(yīng)對在實驗室或無塵室內(nèi)人員走動及其他震動產(chǎn)生的影響。

傳統(tǒng)的被動隔振器，由于在自然頻率下會產(chǎn)生共振，無法應(yīng)對超低頻振動對高放大倍率顯微鏡的影響。主動隔振器由于可以做到無共振，因此，在顯微鏡行業(yè)的應(yīng)用跟為突出。

1/5